先看一个MEMS MIC的简化仿真例子:
此主题相关图片如下:mic1.jpg
此主题相关图片如下:mic2.jpg
此主题相关图片如下:mic3.jpg
此主题相关图片如下:mic4.jpg
以上是电容话筒的仿真,稍微准确些!
完整的仿真图(一个例子):