对于ECM,我所了解的情况是更多地是进行电路类比分析。当然,如果要细致地了解膜片运动状况及结合不同边界条件,有限元软件还是必须的,比如ANSYS。
但起码从我所了解到的ECM的情况,估计没有多少公司会真正用到有限元来作具体分析,更多地可能是靠经验,也就是试。
至于MEMS,常用的是Coventor Ware及Abaqus。但是目前单纯的传声器厂,应该也很难对其深入地作分析(因为大部分都非自己设计sensor,太多结构细节、工艺及参数上未知)。当然,如果仅仅是想得到FR,还是可以的。至于SNR等部分的分析,比较困难,希望你有办法找到方向。
至于IC的仿真,了解得不多,我也很想知道下大家是如何对其作分析的。
仅就自己所了解情况供您参考,有其片面性,若有错误也请水仙、wdele等指正。